序号

设备名称

原值（万元）

平台名称

1

综合物理性能测量系统

456

材料物性分析平台

2

双束系统DualBeam 820 FIB/SEM Workstation

444

材料物性分析平台

3

场发射扫描电镜

347

材料物性分析平台

4

脉冲激光沉积镀膜系统

324

材料物性分析平台

5

高真空多功能化合物半导体快速沉积研究设备

297

材料物性分析平台

6

强磁场热处理系统

274

材料物性分析平台

7

电子束曝光机

226

材料物性分析平台

8

热等静压炉

195

材料物性分析平台

9

热压烧结炉

185

材料物性分析平台

10

原子力显微镜

167

材料物性分析平台

11

激光共聚焦扫描显微镜

165

材料物性分析平台

12

少子寿命测试仪

165

材料物性分析平台

13

等离子体辅助热丝化学气相沉积系统

138

材料物性分析平台

14

X射线衍射仪

136

材料物性分析平台

15

激光热常数测试仪

132

材料物性分析平台

16

太阳电池表面钝化系统

116

材料物性分析平台

17

活细胞工作站

102

材料物性分析平台

18

激光拉曼光谱仪

92

材料物性分析平台

19

真空单晶炉

90

材料物性分析平台

20

波长色散X射线荧光光谱仪

86

材料物性分析平台

21

辊道式烧结炉

72

材料物性分析平台

22

五束源炉铜铟镓硒共蒸系统

65

材料物性分析平台

23

太阳电池量子效率、反射光谱测试仪

49

材料物性分析平台

24

等离子体光谱仪

45

材料物性分析平台

25

太阳电池I-V测试仪

43

材料物性分析平台

26

同步热分析仪

39

材料物性分析平台

27

比表面积及介孔/微孔分析仪

36

材料物性分析平台

28

离子源辅助磁控溅射镀膜设备

33

材料物性分析平台

29

丝网印刷机

31

材料物性分析平台

30

荧光分光光度计

23

材料物性分析平台

31

热处理炉

20

材料物性分析平台

32

热电材料seebeck测试仪

20

材料物性分析平台

33

实时荧光定量PCR扩增仪

18

材料物性分析平台

34

检漏仪

18

材料物性分析平台