1988.09--1992.06  兰州大学物理系本科生 

1992.09--1995.06  兰州大学物理系硕士研究生

1995.09--2000.01  清华大学物理系固体物理研究所博士研究生

2000.04--2002.07  清华大学力学系博士后

2002.07--2003.07  中国科学院电工研究所工作

2003.07--2007.12  中国科学院电工研究所电子束曝光技术研究组组长

2007.12--2016.04  中国科学院电工研究所所长助理、微纳加工技术研究部主任

2016.04--2017.08  中国科学院电工研究所所长助理、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任

2017.08--2017.12  中国科学院电工研究所副所长、代理科技处处长、微纳加工技术研究部主任

2017.12--2023.07  中国科学院电工研究所副所长、微纳加工技术研究部主任 

2023.07至今      微纳加工技术研究部主任