一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统
专利名称: 一种电容器薄膜材料的双面等离子体处理系统
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2019.4.16
专利号: 2019103058990
第一发明人: 孔飞,章程,邵涛,任成燕,叶成园
其它发明人:
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实施情况:
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专利摘要:
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