一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法
专利名称: 一种薄膜沉积镀膜系统及对薄膜进行沉积镀膜的方法
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2019.4.16
专利号: 2019103073666
第一发明人: 邵涛,孔飞,章程,张帅,张鹏浩
其它发明人:
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