一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法
专利名称: 一种电子枪束斑性能的测量装置及测量方法
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2020.2.28
专利号: 2020101278062
第一发明人: 王岩、邓晨晖、赵伟霞、殷伯华、刘俊标、韩立
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: