一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用
专利名称: 一种化学腐蚀液在硅片表面制绒中的应用
专利类别: 发明
申请号:
申请日期: 2018.11.6
专利号: 2018113136050
第一发明人: 刘欢、赵雷、王文静
其它发明人:
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国外申请方式:
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实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
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