一种用来在衬底上沉积半导体材料的装置
专利名称: 一种用来在衬底上沉积半导体材料的装置
专利类别: 实用新型
申请号:
申请日期: 2020.09.08
专利号: 202021936957.4
第一发明人: 刘向鑫 张玉峰 林新璐
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要:
其它备注: