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| 论文题目: | Accuracy requirements of the microarrayed Einzel lens |
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| 作者: | Lixin Zhang, Yulu Zhang, Weixia Zhao, Junbiao Liu, Bohua Yin, Li Han |
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| 刊物名称: | Journal of Vacuum Science and Technology B |
| 年: | 2022 |
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Accuracy requirements of the microarrayed Einzel lens