微型阵列束闸电子束偏转特性研究
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论文题目: 微型阵列束闸电子束偏转特性研究
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作者: 张雨露, 张利新 , 刘俊标 , 王文博, 殷伯华, 韩 立
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刊物名称: 电子显微学报
年: 2023
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