原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片
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论文题目: 原子层沉积与聚焦离子束切片法制备X射线波带片
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作者: 谭明生,明帅强,吴雨菲, 卢维尔,李艳丽,孔祥东, 刘海岗, 夏洋,韩立
论文出处:
刊物名称: 光学学报
年: 2023
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