基于原子层沉积技术的X 射线多层膜的制备研究
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论文题目: 基于原子层沉积技术的X 射线多层膜的制备研究
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作者: 吕文思,吴宏昌,李艳丽*,孔祥东,韩立
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刊物名称: 光学学报
年: 2024
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