基于Fluent仿真的原子层沉积法制备 镀膜毛细管研究
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论文题目: 基于Fluent仿真的原子层沉积法制备 镀膜毛细管研究
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作者: 赵慧斌，李艳丽，吕文思，孔祥东，韩立，张贺*
论文出处:
刊物名称: 光子学报
年: 2024
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