聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片
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论文题目: 聚焦离子束切割法制备多层膜X射线波带片
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作者: 姚广宇;李艳丽;孔祥东;韩立;
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刊物名称: 微纳电子技术
年: 2019
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