| 论文编号: | 0 |
| 第一作者所在部门: | 0 |
| 论文题目: | Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope 计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动 |
| 论文题目英文: | |
| 作者: | Du, Chen-Hui; Gong, Liang; Cai, Xiao-Yong; Yin, Bo-Hua; Jiang, Chao; An, Li-Bao 杜晨辉;龚亮;蔡小勇;殷伯华;江潮;安立宝 第三署名单位 |
| 论文出处: | 0 |
| 刊物名称: | Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering 光学精密工程 |
| 年: | 2019 |
| 卷: | 0 |
| 期: | 0 |
| 页: | 0 |
| 联系作者: | 0 |
| 收录类别: | |
| 影响因子: | 0 |
| 摘要: | 0 |
| 英文摘要: | |
| 外单位作者单位: | 0 |
| 备注: | 0 |
Micro-nanometer scale vibration in imaging of metrological scanning electron microscope
计量型扫描电子显微镜成像的微纳米级振动