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| 论文题目: | High-speed versatile pattern generator for high-resolution electron-beam lithography |
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| 作者: | 孙博彤， 邓晨晖，殷伯华，许广鹿， 黄靖宇， 韩立 |
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| 刊物名称: | IWAPS |
| 年: | 2025 |
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High-speed versatile pattern generator for high-resolution electron-beam lithography