原子层沉积法制备HfO2/Al2O3 X射线多层膜
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论文题目: 原子层沉积法制备HfO2/Al2O3 X射线多层膜
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作者: 赵慧斌，李艳丽，张 贺，牛 耕，韩 立
论文出处:
刊物名称: 硅酸盐学报
年: 2025
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